416 折れ曲がる保護膜被覆多結晶配線の断線予測
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2002-05-22
著者
-
笹川 和彦
弘前大
-
笹川 和彦
弘前大学理工学部
-
坂 真澄
東北大
-
長谷川 昌孝
東北大
-
阿部 博之
東北大学大学院工学研究科
-
阿部 博之
東北大学
-
阿部 博之
東北大・工
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
長谷川 昌孝
東北大学院
-
阿部 博之
日本機械学会
-
坂 真澄
東北大学
-
笹川 和彦
弘前大学 理工学部知能機械工学科
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