106 多結晶Al配線におけるエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度の実験的評価(学生賞I,環境工学/学生賞I)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2008-03-15

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 桐田 聡彦

  弘前大院

• 福士 翔大

  弘前大院

• 山路 尚

  弘前大院

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