ドリフト速度計測によるバンブー金属薄膜配線の物性定数の導出(OS24a ナノ・マイクロ構造の強度信頼性解析)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2004-11-17

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 宇野 茂雄

  弘前大

• 長谷川 昌孝

  東北大

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