636 エレクトロマイグレーション損傷支配パラメータを用いた表面に保護膜を有する多結晶配線の断線予測法

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-11-27

著者

• 笹川 和彦

  弘前大

• 坂 真澄

  東北大

• 長谷川 昌孝

  東北大

• 阿部 博之

  東北大学

• 坂 真澄

  東北大学大学院工学研究科

• 阿部 博之

  東北大 工学部

• 長谷川 昌孝

  東北大院

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