1842 多結晶シリコン薄膜の機械的信頼性評価に関する新しい試み(J09-1 マイクロ構造・材料の強度評価,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
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概要
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A new fatigue test setup for polycrystalline silicon thin films was established with the use of a novel test structure which enabled easy and efficient experiment. The setup has a small piezoelectric actuator as the driving system and is capable of fatigue loading at arbitrary frequencies ranging from static to kHz level. These advanced features are expected to contribute to further detailed researches on the fatigue characteristics of polycrystalline silicon thin films.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
-
坂 真澄
東北大
-
神谷 庄司
名工大
-
ポール オリバー
フライブルク大学
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
ルーター パトリック
フライブルク大学
-
本田 直子
名大院
-
坂 真澄
東北大学
-
本田 直子
名工大院
-
ポール オリバー
フライブルク大
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