2841 シリコン薄膜の疲労特性とその評価(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
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概要
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Static strength tests and dynamic fatigue tests were conducted on polycrystalline silicon thin films patterned under two different etching process conditions. Statistical analysis was performed to integrate all the test results on the basis of equivalent initial crack length. The cumulative fracture probability was formulated as a function of the applied stress and the number of fatigue cycles. It was found that the extension behavior of initial cracks was the same, regardless of the distributions of initial cracks which depended on the etching conditions.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
-
河合 拓
名工大院
-
神谷 庄司
名工大
-
ポール オリバー
フライブルク大学
-
ガスパー ジョアオ
フライブルク大学
-
天木 伸吾
名工大院
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ポール オリバー
フライブルク大
-
ガスパー ジョアオ
フライブルク大
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