T0301-1-3 不活性環境下でのシリコンの疲労挙動(マイクロ・ナノ構造体の強度・力学特性)
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概要
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A novel fatigue test technique with gradually increasing stress amplitude was applied to poly crystal line silicon thin films in order to survey possible fatigue degradation in strength in inert environment. The results were compared with the behavior in high humidity environment. It was revealed that even static strength was weakened with high humidity and that fatigue weakening was observed also in inert environment in addition to the strengthening effect with cyclic loading.
- 2009-09-12
著者
-
Le Vu
名工大院
-
池田 裕介
名工大院
-
神谷 庄司
名工大
-
ポール オリバー
フライブルク大学
-
ガスパー ジョアオ
フライブルク大学
-
ポール オリバー
フライブルク大
-
ガスパー ジョアオ
フライブルク大
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