2834 基板上のCVDダイヤモンド薄膜の疲労損傷過程(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
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概要
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This paper describes the fatigue characteristics of Chemical Vapor Deposition diamond films on a silicon substrate. Repeated indentation load was applied to the diamond film surface with a spherical indenter to introduce mechanical fatigue damage in the films and interfaces with a minimum amount of tribological surface damage. The stress field applied to the sample is analyzed in detail, and fatigue behavior was clarified as an S-N diagram. Detailed observation of fatigue damage revealed that damage initiated on the substrate surface leading to interface debonding.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-07
著者
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