T0302-1-5 シリコンの疲労メカニズムの描像を目的としたSEM内疲労試験の試み([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)
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概要
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A fatigue testing equipment was developed to be operated in an environmental scanning electron microscope (ESEM), in order to visualize the fatigue process of silicon. Fracture test with a single crystalline silicon specimen was actually performed and it was confirmed that the experimental setup enables in-situ observation of silicon surface subjected to fatigue loading in the ESEM.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-09-04
著者
-
梅原 徳次
名古屋大学大学院工学研究科
-
神谷 庄司
名古屋工業大学大学院工学研究科
-
梅原 徳次
名大
-
月山 陽介
名大院
-
神谷 庄司
名工大
-
月山 陽介
名古屋大学工学部
-
平井 隆太郎
名工大院
-
泉 隼人
名工大
-
月山 陽介
名大
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