表面波励起プラズマを用いた円筒内面DLC成膜の高速化に関する研究

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概要

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• 2008-05-24

著者

• 梅原 徳次

  名古屋大学大学院工学研究科

• 上坂 裕之

  名古屋大学工学部

• 岸根 翔

  名古屋大学

• 梅原 徳次

  名古屋大学

• 上坂 裕之

  名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻

• 上坂 裕之

  名古屋大学

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