DLC成膜用ハイドロカーボンプラズマのシミュレーション : 原料ガスの違いがプラズマ特性へ与える影響
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概要
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- 2009-06-12
著者
-
上坂 裕之
名古屋大学工学部
-
小田 昭紀
名古屋工業大学
-
木村 高志
名古屋工業大学
-
小田 昭紀
名工大
-
上坂 裕之
名大
-
上坂 裕之
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学
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