DLC成膜用ハイドロカーボンプラズマにおける基板への入射イオンおよびラジカルフラックスの計算機解析

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概要

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• 2012-05-10

著者

• 小田 昭紀

  名古屋工業大学

• 小田 昭紀

  名工大

• 上坂 裕之

  名大

• 小田 昭紀

  千葉工業大学

• 上坂 裕之

  名古屋大学

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