マイクロ波励起高密度プラズマCVDによって細穴内面に成膜されたDLC膜の摩擦摩耗特性
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概要
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- 2008-12-19
著者
-
梅原 徳次
名古屋大学大学院工学研究科
-
上坂 裕之
名古屋大学工学部
-
森 一憲
名古屋大学
-
近藤 明弘
岐阜大学
-
田村 登
(有)CCS
-
進藤 豊彦
(有)CCS
-
進藤 豊彦
(有)コンタミネーション・コントロール・サービス
-
梅原 徳次
名古屋大学
-
近藤 明弘
岐阜大工
-
近藤 明弘
岐阜大学工学部
-
近藤 明弘
岐阜大院工
-
田村 登
(有)コンタミネーション・コントロール・サービス
-
梅原 徳次
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
梅原 徳次
名古屋大学 大学院工学研究科機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学
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