表面波励起プラズマによる金属円筒内面への高速ダイヤモンドライクカーボン成膜

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

著者

• 上坂 裕之

  名古屋大学工学部

• 岸根 翔

  名古屋大学

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