355 MVP法による細管内面プラズマ生成への電磁波周波数の影響(OS5-2トライボロジーの基礎問題2)
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概要
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- 2009-03-01
著者
-
上坂 裕之
名古屋大学工学部
-
近藤 明弘
岐阜大学
-
田村 登
(有)CCS
-
進藤 豊彦
(有)コンタミネーション・コントロール・サービス
-
近藤 明弘
岐阜大工
-
近藤 明弘
岐阜大学工学部
-
門脇 慎之介
名大院工機械
-
上坂 裕之
名大院工機械
-
梅原 徳次
名大院工機械
-
近藤 明弘
岐阜大院工
-
田村 登
(有)コンタミネーション・コントロール・サービス
-
守谷 修司
東京エレクトロン(株)
-
中尾 賢
東京エレクトロン(株)
-
梅原 徳次
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
梅原 徳次
名古屋大学 大学院工学研究科機械理工学専攻
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