マイクロ波励起・高密度近接プラズマによる超高速DLC成膜

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概要

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• 2012-05-10

著者

• 上坂 裕之

  名古屋大学工学部

• 梅原 徳次

  名古屋大学

• 梅原 徳次

  名古屋大学 大学院工学研究科機械理工学専攻

• 上坂 裕之

  名古屋大学

• 岡本 隆志

  名古屋大学

• 高岡 泰之

  名古屋大学

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