金属体に沿って伝搬するマイクロ波による高密度プラズマ生成
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概要
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We found high-density plasma generated by microwaves propagating along metal surface at a negative voltage against a grounded chamber. Magnetic probe measurement showed that 2.45-GHz microwaves propagated as surface waves that were guided by the interface between the high-density plasma and underdense region in ion sheath surrounding the metal surface. The same phenomenon was demonstrated to occur in a narrow metal tube 7.5 mm in inner diameter, where surface waves were considered to propagate along the interface between a high-density plasma column in the tube and underdense region in ion sheath formed along the inner wall of the tube.
- 日本真空協会の論文
- 2006-03-20
著者
-
梅原 徳次
名古屋大学大学院工学研究科
-
上坂 裕之
名古屋大学工学部
-
梅原 徳次
名古屋大学
-
飯田 斉
名古屋大学大学院工学研究科機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学
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