253 PTFEのパルスプラズマアブレーションによる無ガス供給下でのフッ素含有DLCの成膜(OS2-1 最先端加工技術の基礎と応用(1),OS2 最先端加工技術の基礎と応用)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-01
著者
-
梅原 徳次
名古屋大学大学院工学研究科
-
上坂 裕之
名古屋大学工学部
-
荒川 義博
東京大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻
-
荒川 義博
東京大学
-
小泉 宏之
宇宙開発研究機構宇宙科学研究本部
-
濱島 絵里
名古屋大学
-
梅原 徳次
名古屋大学
-
上坂 裕之
名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻
-
上坂 裕之
名古屋大学
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