25p-E-2 高周波Arプラズマ中の電子エネルギー分布測定
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1992-09-14
著者
関連論文
- 大気圧ヘリウム直流グロー放電の一次元流体シミュレーション
- DLC成膜用ハイドロカーボンプラズマのシミュレーション : 原料ガスの違いがプラズマ特性へ与える影響
- 中間気圧から大気圧へのガス圧増加に伴うヘリウム直流グロー放電プラズマ構造の変化
- 大気圧ヘリウム直流グロー放電の一次元流体シミュレーション : 電極温度が放電特性へ与える影響
- 1次元流体モデルによる大気圧希ガス直流放電プラズマの数値シミュレーション
- 大気圧・直流Heグロー放電の流体モデリング
- 電熱加速型パルスプラズマ曝露によるフッ化炭素膜の堆積
- 容量性結合RF Ar放電中の電子加熱機構の遷移
- N_2DC陽光柱における電子エネルギー分布と振動分布の径方向構造
- 名古屋工業大学生産システム工学科大江研究室
- 低圧拡散N_2プラズマにおける電子エネルギー分布
- He及びN_2グロー放電陽光柱プラズマの管径方向構造
- 印加電圧変調によるオゾナイザの効率改善
- Heグロー放電中に発生する電離波のカオス的振る舞い
- 27a-Q-5 二つの密度勾配のあるネオンプラズマに形成される電位構造
- 29p-YC-3 A_r-N_2混合高周波プラズマの分光測定
- He陽光柱のインピーダンスによる等価回路化
- プラズマシース境界での電位構造
- 28p-YD-7 He DCグロー放電プラズマの光吸収測定
- 28p-YD-4 金属平板まわりのプラズマのふるまい
- 28p-YD-3 希ガス-分子性ガス混合プラズマ中の電子エネルギー分布関数の測定
- 8.計算機によるデータの取り込みと処理 : 8.2データ処理(プラズマ実験入門VIII)
- 14a-DG-4 Ar-N_2DCグロー放電中の電子エネルギー分布関数
- 14a-DG-3 プローブ測定における参照電極としてのエミッシブプローブ
- 13a-DG-13 2つの低気圧Ar弱電離プラズマ中に形成されるダブルレイヤー
- 25p-E-2 高周波Arプラズマ中の電子エネルギー分布測定
- 28p-ZH-7 Ne-N_2陽光柱プラズマの電子エネルギー分布関数
- カーボンナノチューブを用いたイオンゲージ用冷陰極電子源の研究
- Xe/O_2 ガス混合バリア放電のモデリング : O_2 ガス添加の Xe バリア放電特性への影響
- プラズマ波動の励振と伝搬
- 表面磁場で閉じ込められた低圧Arプラズマの空間構造
- 誘導性結合型Ar/N_2プラズマ特性に関する実験的研究
- 大気圧下で生成された容量性結合型反応性ガス高周波放電の特性
- Xe/分子性ガス混合バリア放電のシミュレーション : 分子性ガス添加の放電特性への影響
- 27a-ZA-12 FIRによる電子エネルギー分布関数の測定
- 4a-TC-2 時間変化を伴うプラズマの電子エネルギー分布
- 1. はじめに : オゾナイザの最近の動向
- 4.静電プローブでプラズマを探る : 4.2電子エネルギー分布を測る(プラズマ実験入門IV)
- ガス圧制御について
- パラフィン・炭素系の電気的特性 II. : 計測
- パラフィン・炭素系の電気的特性 I. : 計測
- 2. RF放電中の電子エネルギー分布 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
- 4.放電プラズマのカオス的振る舞い : 4.1 電離波動のカオス現象(プラズマにおけるカオス現象の観測と実験解析III)
- 最近のRF放電プラズマ研究の進展 : 電子エネルギー分布を中心として
- 誘導性結合高周波CH_4/H_2プラズマの実験とグローバルモデル
- Arで希釈された誘導性結合反応性プラズマの特性
- パルスマグネトロンスパッタリングによるダイヤモンドライクカ-ボン成膜
- 電熱加速型パルスプラズマの材料プロセスへの応用に関する実験的研究
- DLC成膜向けハイパワーパルスマグネトロンスパッタリング放電の特性
- 二つの固定された光検出器による乱流波動の相関測定