4.静電プローブでプラズマを探る : 4.2電子エネルギー分布を測る(<講座>プラズマ実験入門IV)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Fundamentals in measuring electron energy distribution function (EEDF) are presented. The principle to detect the EEDF and some practical techniques as well as typical results are included.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-08-25
著者
関連論文
- 容量性結合RF Ar放電中の電子加熱機構の遷移
- N_2DC陽光柱における電子エネルギー分布と振動分布の径方向構造
- 名古屋工業大学生産システム工学科大江研究室
- 低圧拡散N_2プラズマにおける電子エネルギー分布
- He及びN_2グロー放電陽光柱プラズマの管径方向構造
- 印加電圧変調によるオゾナイザの効率改善
- Heグロー放電中に発生する電離波のカオス的振る舞い
- 27a-Q-5 二つの密度勾配のあるネオンプラズマに形成される電位構造
- 29p-YC-3 A_r-N_2混合高周波プラズマの分光測定
- He陽光柱のインピーダンスによる等価回路化
- プラズマシース境界での電位構造
- 28p-YD-7 He DCグロー放電プラズマの光吸収測定
- 28p-YD-4 金属平板まわりのプラズマのふるまい
- 28p-YD-3 希ガス-分子性ガス混合プラズマ中の電子エネルギー分布関数の測定
- 8.計算機によるデータの取り込みと処理 : 8.2データ処理(プラズマ実験入門VIII)
- 14a-DG-4 Ar-N_2DCグロー放電中の電子エネルギー分布関数
- 14a-DG-3 プローブ測定における参照電極としてのエミッシブプローブ
- 13a-DG-13 2つの低気圧Ar弱電離プラズマ中に形成されるダブルレイヤー
- 25p-E-2 高周波Arプラズマ中の電子エネルギー分布測定
- 28p-ZH-7 Ne-N_2陽光柱プラズマの電子エネルギー分布関数
- プラズマ波動の励振と伝搬
- 表面磁場で閉じ込められた低圧Arプラズマの空間構造
- 1. はじめに : オゾナイザの最近の動向
- 4.静電プローブでプラズマを探る : 4.2電子エネルギー分布を測る(プラズマ実験入門IV)
- ガス圧制御について
- パラフィン・炭素系の電気的特性 II. : 計測
- パラフィン・炭素系の電気的特性 I. : 計測
- 2. RF放電中の電子エネルギー分布 (電子エネルギー分布関数とプラズマプロセス)
- 4.放電プラズマのカオス的振る舞い : 4.1 電離波動のカオス現象(プラズマにおけるカオス現象の観測と実験解析III)
- 最近のRF放電プラズマ研究の進展 : 電子エネルギー分布を中心として
- 二つの固定された光検出器による乱流波動の相関測定