カーボンナノチューブを用いたイオンゲージ用冷陰極電子源の研究
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概要
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We proposed the cold cathode made of carbon nanotubes (CNTs) for an ionization gauge. The CNTs were grown radially on a Ni wire by DC-plasma chemical vapor deposition (CVD). The radial growth of CNTs was obtained by controlling deposition temperature, C2H2: NH3 ratio and pressure. Pre-heating of the Ni wire in vacuum prior to CVD process resulted in the higher density of CNTs. The field emission characteristics of two types of CNT cathodes were examined.
- 日本真空協会の論文
- 2007-03-20
著者
-
木村 高志
名古屋工業大学
-
村上 寛
産業技術総合研究所
-
岩田 敏彰
産業技術総合研究所
-
阿部 宜之
産業技術総合研究所
-
阿部 宜之
産業技術総合研究所エネルギー研究部門宇宙技術グループ
-
阿部 宜之
電子技術総合研究所
-
市川 洋
名古屋工業大学
-
村上 寛
産業技術総合研
-
園部 宗孝
名古屋工業大学大学院
-
山下 司
名古屋工業大学大学院
-
中井 仁
名古屋工業大学大学院
-
市川 洋
名古屋工業大学大学院
-
岩田 敏彰
産業技術総合研
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