515 配線用銅薄膜とキャップ層との付着強度の定量評価(OS2-3,OS2 各種機械材料の疲労挙動と強度評価)

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概要

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• 2006-03-01

著者

• 神谷 庄司

  名工大

• 吉崎屋 有香

  名工大

• 鈴木 重徳

  東北大

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