T0302-1-2 ボッシュプロセスで作製されたMEMS構造体の損傷に基づく静的強度予測(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
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概要
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A method of damage based prediction of static strength of MEMS structures fabricated by Bosch process was proposed. Four points bending tests in different bending directions were performed in order to evaluate the distribution of damage-characteristics on the processed surface as a function of position along the etching direction. As a result, the static strength of notched specimens was successfully predicted from the characteristics obtained with the specimens without notch.-
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
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