永吉 径 | 名工大院
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概要
関連著者
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神谷 庄司
名工大
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ガスパー ジョアオ
フライブルク大学
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永吉 径
名工大院
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ガスパー ジョアオ
フライブルク大
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ポール オリバー
フライブルク大学
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オリバー ポール
フライブルク大
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ポール オリバー
フライブルク大
著作論文
- T0302-1-2 ボッシュプロセスで作製されたMEMS構造体の損傷に基づく静的強度予測(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- T0302-1-2 ボッシュプロセスで作製されたMEMS構造体の強度設計法に関する基礎的研究([T0302-1]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労)