514 切断加工による損傷に基づくシリコンチップの機械的信頼性評価(OS2-3,OS2 各種機械材料の疲労挙動と強度評価)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-03-01

著者

• 神谷 庄司

  名工大

• 井上 大喜郎

  名工大院

• 神藤 弘章

  名工大

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