テトラクロロシラン-シリコン窒化膜によるボロン突き抜けの抑制および高性能デュアルゲートDRAMの実現
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概要
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従来のシリコン窒化膜(SiN膜)は, ボロンの突き抜けを引き起こし, PMOSFETを劣化させてしまう.今回, ボロンの突き抜けが, シリコン窒化膜中のSiH量に強く依存していることを初めて見出した.加えて, SiH基を持たないシリコン窒化膜をテトラクロロシラン(TCS)により形成した.SiH基の無いTCS-SiN膜の適用により, ボロンの突き抜けを抑制し, 高性能デュアルゲートDRAMを実現できることを報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-07-27
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
金井 直樹
北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科
-
井上 文彦
富士通プロセス開発部第1開発部
-
井上 文彦
富士通
-
田中 正幸
東芝
-
田中 正幸
株式会社東芝セミコンダクター社
-
中西 俊郎
富士通研究所
-
須黒 恭一
東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
綱島 祥隆
東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター
-
児島 学
富士通研究所
-
齋田 繁彦
東芝
-
須黒 恭一
(株)東芝ulsi研究所
-
須黒 恭一
東芝
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