須黒 恭一 | 東芝

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概要

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関連著者

• 井上 文彦

  富士通プロセス開発部第1開発部

• 井上 文彦

  富士通

• 田中 正幸

  東芝

• 田中 正幸

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 中西 俊郎

  富士通研究所

• 須黒 恭一

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 綱島 祥隆

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 児島 学

  富士通研究所

• 齋田 繁彦

  東芝

• 須黒 恭一

  (株)東芝ulsi研究所

• 須黒 恭一

  東芝

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 金井 直樹

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 斎田 繁彦

  東芝

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著作論文

• テトラクロロシラン-シリコン窒化膜によるボロン突き抜けの抑制および高性能デュアルゲートDRAMの実現
• テトラクロロシラン-シリコン窒化膜によるボロン突き抜けの抑制および高性能デュアルゲートDRAMの実現

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