逆メサ光入射端面を有する高効率、低電圧動作の端面光入射屈折型フォトダイオード
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概要
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側方からの入射光が傾斜端面で屈折し、上方の薄い吸収層で受光される新型の端面光入射屈折型フォトダイオード(RFPD)を製作、評価した。屈折した光が吸収層に対し斜めに通過するため、吸収層が薄いにもかかわらず吸収長は実効的に増大し、その結果、内部量子効率が増大する。製作した吸収層厚1.5μmのRFPDは、シングルモードファイバに対してバイアス電圧0.5Vにおいて受光感度0.95A/Wの大きな値を示した。受光感度が1dB低下するミスアライメントトレランスは水平方向33μm、垂直方向9.5μmと大きな値が得られた。3dB帯域は6GHz以上であった。このように、RFPDが極めて高いポテンシャルを有することが明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-14
著者
-
深野 秀樹
NTT光エレクトロニクス研究所
-
加藤 和利
NTT光エレクトロニクス研究所
-
深野 秀樹
NTTフォトニクス研究所
-
加藤 和利
Nttフォトニクス研究所
-
中島 長明
NTT光エレクトロニクス研究所
-
幸前 篤郎
NTTエレクトロニクス
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