セグメント構造DLC膜の変形挙動とトライボロジー特性評価
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概要
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基材が弾性・塑性変形を受けるような軟質材料へのDLC膜の成膜手法であるセグメント構造DLC膜の設計手法について検討した. 設計パラメータとしてセグメントサイズや間隔のトライボロジー特性や膜の変形挙動への影響を評価するために, セグメント構造DLC膜をアルミニウム基材上へコーティングしボールオンディスク試験や4点曲げ試験を行った. また, 有限要素解析と合わせてセグメントの設計指針について示した.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-12-05
著者
-
足立 雄介
東京工業大学大学院
-
大竹 尚登
東京工業大学 大学院機械物理工学専攻
-
青木 佑一
東京工業大学大学院理工学研究科
-
青木 佑一
東京工業大学 大学院理工学研究科 機械物理工学専攻
-
足立 雄介
東京工業大学大学院理工学研究科
-
大竹 尚登
東京工業大学
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