ナノパルスプラズマCVD法を利用した大気開放下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Deposition of Diamond-Like Carbon (DLC) films at atmospheric pressure is one of promising techniques to achieve in-process coatings regardless work sizes. This research aims at synthesis of DLC films under atmospheric pressure by nanopulse Chemical Vapor Deposition (CVD) method using unique power source system that consists of a static induction (SI) thyristor and an Inductive Energy Storage (IES). In this report, we realized synthesis of DLC films in open air (101 kPa). Deposition rate was as high as 0.4μn/min, and the hardness of the film was 20.6 GPa. From Raman spectroscopic analysis, quality of film significantly depends on input power and deposition time.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2006-10-05
著者
-
近藤 好正
日本ガイシ(株)
-
大竹 尚登
名古屋大学
-
大竹 尚登
東京工業大学 大学院機械物理工学専攻
-
斎藤 隆雄
徳島大学医学部麻酔学教室
-
齋藤 隆雄
日本ガイシ(株)
-
齊藤 隆雄
日本ガイシ(株)
-
斉藤 雅典
東京工業大学大学院
-
寺澤 達矢
日本ガイシ(株)
関連論文
- 多芯光ファイバアレイ自動組立装置の研究
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第1報) : 摩擦駆動面への導入と駆動実験
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ（第1報） : —摩擦駆動面への導入と駆動実験—
- 502 溝内面に合成したダイヤモンド状炭素膜の機械特性評価(OS 摩擦・磨耗材料(1))
- CNT/PP複合材料
- 12-103 高大連携教育活動(第2報) : サマーチャレンジー((24)高大院連携-I)
- (197)進化する創造性教育(第3報) : 東京工業大学における創造性育成科目の発展と現状(セッション56 創成教育IX)
- 表面微細構造を有するDLCのトライボロジー特性
- S0402-1-1 DLCコーティングシムを用いたフレッティング摩耗抑制機構の解明(表面改質および薄膜コーティング)
- ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC合成
- 最新動向 : リサイクル, ナノ繊維強化複合材料, 新成形法 : カーボンナノチューブ複合材料
- オイル潤滑下でのセグメント構造DLC膜のトライボロジー特性評価(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- セグメント構造DLC膜によるクラック抑制と潤滑保持 (特集 最新DLC膜--環境対応・高機能化の技術・応用)
- 332 DLCコーティングダイスを用いたアルミニウムの可変断面押出し(塑性加工の動向とその展開4)
- 微細表面形状を有する切削工具の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- フッ素樹脂を複合したセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 軽金属薄板へのボス成形におけるひけの発生特性と抑止策
- 409 樹脂基CNT複合材料の表面導電性に及ぼす射出成形条件の影響(高分子/高分子基複合材料)
- 516 微細表面形状を有する切削工具によるMQL加工(OS-9 環境適応形加工)
- ナノパルスプラズマCVD法を利用した大気開放下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
- 2102 セグメント構造DLC膜の形状設計とトライボロジ-特性評価(OS2-1 トライボロジーとその応用(1))
- ナノパルスプラズマの状態評価及びDLC膜合成への応用
- 樹脂基カーボンナノファイバー複合材料の熱伝導率
- ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜合成の試み (特集 放電学会春季合同シンポジウム) -- (パルスパワー技術を用いてのプラズマの産業応用)
- 環境に調和した表面処理技術とその展望 (特集欄 環境調和型機械材料と材料加工) -- (材料編)
- ナノパルスプラズマCVD法による準大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
- 樹脂基カーボンナノチューブ複合材料のナノダイナミクス評価(S07-4 複合材料II,S07 メゾスケールにおける先進材料の力学と強度・機能評価)
- 超パルスCO_2レーザによるサファイア基板の割断方法
- (196)進化する創造性教育(第2報) : 東京工業大学における教育課程中での位置づけ(セッション56 創成教育IX)
- (195)進化する創造性教育(第1報) : 東京工業大学における推進システム(セッション56 創成教育IX)
- 硬膜外局所麻酔薬注入によると思われる冠スパズム症例
- Goldenhar 症候群の麻酔管理
- 低酸素性アシドーシスへのNaHCO_3投与が血中カテコラミン濃度に及ぼす影響
- プロスタグランジンE_1投与が体外循環による腎障害に及ぼす影響
- ハロタンの気化器内における安定性
- 患者監視装置の現状と問題点
- ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマ装置の試作
- 白川英樹先生を訪ねて
- 気相合成ダイヤモンド粉の鉄鋼材料研削への試み
- グローバル化時代の人づくり : 若手研究者へのメッセージ(議員 白川英樹先生)(内閣府総合科学技術会議)
- 科学解説 大気圧プラズマによるDLC膜合成
- SIサイリスタを用いたナノパルス電源によるダイヤモンド状炭素膜成膜
- SIサイリスタを使用したDLC成膜用パルス電源の開発 (第18回 SIデバイスシンポジウム講演論文集)
- 細穴内面に合成したダイヤモンド状炭素膜の機械特性評価(J17-2 表面改質とトライボロジー(II),J17 表面改質とトライボロジー)
- SIサイリスタを用いたナノパルス電源による大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜成膜
- 404 マイクロ押出し金型内面へのダイヤモンド状炭素膜コーティング
- 321 マイクロ押出し金型へのダイヤモンド状炭素膜コーティング(OS 薄膜特性)
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜の開発と応用
- カーボンナノファイバー含有樹脂複合材料の熱伝導率(S17-2 環境調和型加工技術とその材料特性(2),S17 環境調和型加工技術とその材料特性)
- 多芯光ファイバモジュール自動組立のための摩擦係数測定
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ (第2報) : —セグメント構造クロム/ダイヤモンド状炭素膜の導入—
- DLC膜の合成に関するいくつかの試み (小特集/最近の話題を追って(1))
- 気相合成によるダイヤモンドのラップ工具への応用
- アルミニウム中空角材の可変断面押出し
- カーボンナノファイバー含有樹脂の成形と機械的特性評価(S17-2 環境調和型加工技術とその材料特性(2),S17 環境調和型加工技術とその材料特性)
- 複数の目的特性を考慮したパラメータ設計法
- 多芯光ファイバモジュール自動組立のための摩擦係数測定
- セラミックスの射出成形におけるウェルド欠陥の生成機構の検討
- カーボンナノファイバー/ポリプロピレン複合材料におけるナノファイバーの分散評価(S17-2 環境調和型加工技術とその材料特性(2),S17 環境調和型加工技術とその材料特性)
- 次世代カーボンテクノロジーへの挑戦(経済産業省フロンティアカーボンテクノロジー)(精密工学の最前線)
- DLC膜の発光分光分析と機械的特性評価
- ナノパルスプラズマCVD法を用いた準大気圧DLC膜の短時間合成
- 231 耐摩耗性および耐食性を有するDLC膜の開発(コーティング・溶射・薄膜プロセス)
- 134 超音波援用によるメカニカルクリンチングの高強度化(塑性加工とその周辺技術)
- セグメント構造DLC膜の変形挙動とトライボロジー特性評価
- 2911 セグメント構造DLC膜の形状設計とトライボロジー特性評価(J21 表面改質とトライボロジー,2005年度年次大会)
- 塑性加工・ものづくり, 近未来の実践と挑戦 : 何ができるか?何をなすべきか?
- コーティング材として使われるダイヤモンドライクカーボン(DLC)(実用化される新しいカーボン材料)
- 苦手分野にこそ最大の魅力が
- PWパンチと直角刃パンチによる高張力鋼板の穴抜き加工プロセスと抜き穴性状
- 229 表面被膜処理金型を用いた口紅成形体の光沢度評価(粉末成形とその評価(2),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
- 116 大気圧下でのDLC膜合成とその機械的特性評価(コーティング・溶射・薄膜プロセス(1),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
- 超音波振動かしめ技術
- ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
- FEMによるPWパンチの穴抜き面凹凸の改善メカニズムの解析