ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのDLC膜合成の試み (特集 放電学会春季合同シンポジウム) -- (パルスパワー技術を用いてのプラズマの産業応用)

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概要

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著者

• 近藤 好正

  日本ガイシ(株)

• 大竹 尚登

  東京工業大学 大学院機械物理工学専攻

• 斎藤 隆雄

  徳島大学医学部麻酔学教室

• 齋藤 隆雄

  日本ガイシ(株)

• 近藤 好正

  日本碍子

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