ナノパルスプラズマCVD法を用いた準大気圧DLC膜の短時間合成
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概要
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- 2010-12-16
著者
-
大竹 尚登
東京工業大学大学院理工学研究科機械工学専攻
-
大竹 尚登
東京工業大学 大学院機械物理工学専攻
-
宮武 直
東京工業大学大学院機械物理工学専攻
-
大竹 尚登
東京工業大学
-
宮武 直
東京工業大学
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