ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC合成
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概要
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- 社団法人表面技術協会の論文
- 2009-06-01
著者
-
近藤 好正
日本ガイシ(株)
-
大竹 尚登
東京工業大学大学院理工学研究科機械工学専攻
-
大竹 尚登
東京工業大学 大学院機械物理工学専攻
-
斎藤 隆雄
徳島大学医学部麻酔学教室
-
齋藤 隆雄
日本ガイシ(株)
-
大竹 尚登
東京工業大学
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