322 プラズマ CVD 法によるアモルファス炭素膜の合成と電気的特性の評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In this study, we investigated electrical properties of amorphous carbon (a-C : H) films fabricated by plasma CVD. First, photovoltaic cells consisting of Au/ a-C : H films / n-Si (p-Si) /In-Ga films were fabricated with changing deposition condition. Deposition of a-C"H films were performed using methane as a source gas. Nitrogen and tri-methyl boron (TMB) were also used as the doping gases. Under the light illumination (Xe are lamp at 100mW/cm^2), this cell shows photovoltaic behavior with short circuit current of 0.3mA/cm^2,open circuit voltage of 0.3V and energy conversion efficiency of 0.023%. Secondly, we investigated field emission from a-C : H on ITO films. The film shows field emission at the surface potential barrier of 4∿4.5eV.
- 2003-10-17
著者
関連論文
- セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第1報) : 摩擦駆動面への導入と駆動実験
- 3a-Z-11 気相合成ダイヤモンド中の格子欠陥の電子顕微鏡観察
- 1030 軟質材料上へのダイヤモンド状炭素膜コーティングとその摩擦摩耗特性
- 319 炭素系薄膜を用いた太陽光発電素子の試作(OS 薄膜特性)
- S0402-1-1 DLCコーティングシムを用いたフレッティング摩耗抑制機構の解明(表面改質および薄膜コーティング)
- オイル潤滑下でのセグメント構造DLC膜のトライボロジー特性評価(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 微細表面形状を有する切削工具の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- フッ素樹脂を複合したセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 516 微細表面形状を有する切削工具によるMQL加工(OS-9 環境適応形加工)
- 2102 セグメント構造DLC膜の形状設計とトライボロジ-特性評価(OS2-1 トライボロジーとその応用(1))
- 3201 新しい設計教育のひとつの試み : 東工大機械学科「独創機械設計」の紹介(OS06-1/設計教育(1))(OS06/設計教育)
- 樹脂基カーボンナノチューブ複合材料のナノダイナミクス評価(S07-4 複合材料II,S07 メゾスケールにおける先進材料の力学と強度・機能評価)
- 白川英樹先生を訪ねて
- グローバル化時代の人づくり : 若手研究者へのメッセージ(議員 白川英樹先生)(内閣府総合科学技術会議)
- カーボンナノファイバー含有樹脂の成形と機械的特性評価(S17-2 環境調和型加工技術とその材料特性(2),S17 環境調和型加工技術とその材料特性)
- 322 プラズマ CVD 法によるアモルファス炭素膜の合成と電気的特性の評価
- 806 ウェーブレットを用いた顕微鏡画像の画像処理
- 311 表面処理された CNT を添加した樹脂基複合材料の機械的特性
- 1130 カーボンナノチューブ含有樹脂射出成形板材の摩擦摩耗特性
- 435 射出成形における微細V溝形状の転写機構(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 1132 溶射プラズマ CVD 法による Ti-DLC 膜の合成とその機械的特性
- 231 耐摩耗性および耐食性を有するDLC膜の開発(コーティング・溶射・薄膜プロセス)
- 134 超音波援用によるメカニカルクリンチングの高強度化(塑性加工とその周辺技術)
- セグメント構造DLC膜の変形挙動とトライボロジー特性評価
- 2911 セグメント構造DLC膜の形状設計とトライボロジー特性評価(J21 表面改質とトライボロジー,2005年度年次大会)
- セグメント構造化DLC膜のトライボロジー特性(J17-2 表面改質とトライボロジー(II),J17 表面改質とトライボロジー)
- S0401-1-1 DLC成膜したステンレス鋼の耐摩耗性及び耐腐食性評価([S0401-1]表面改質および薄膜コーティング(1))
- 505 アルミニウム角材の断面形状制御押出し(OS 塑性加工)
- 108 rfマグネトロンスパッタ法によるB-C-N系薄膜の合成(OS 材料の超精密加工とマイクロ加工)
- S0401-3-1 ダイヤモンド膜合成の低温化に及ぼすナノパルス援用効果([S0401-3]表面改質および薄膜コーティング(3))