1A1-1F-F3 針状電極 ECF ジェットによる発生圧力を利用したマイクロアクチュエータ
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概要
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ECFは, 高電圧を印加することでジェットを生ずる誘電性の液体である。本報では, 針状電極とリング状電極の電極対により生ずる針状電極ECFジェットを利用しブルドン管の原理で駆動されるチューブ形マイクロアクチュエータの特性評価, およびその結果を利用した2自由度マイクロマニピュレータの試作を行っている。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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