124 並列粗微動駆動形 6 自由度空間位置決め装置
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概要
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We propose an in-parallel actuated mechanisms that can simultaneously realize fine positioning resolution and a large working space, and we discuss their infinitesimal displacement characteristics. Based on kinematic synthesis of a mechanism, an experimental positioning device has been developed and we discuss the results of experiments regarding its fine positioning characteristics. As a result, the proposed positioning device using the in-parallel actuated mechanism with redundant actuators achieved fine resolution (10-20nm-step positioning) while realizing a large working space (80X80X40 mm in translation).
- 2003-04-18
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