24pY-6 空孔および格子間原子機構対拡散モデルに基づくSi中のPの実効拡散係数および律速過程

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 友景 肇

  福大工

• 友景 肇

  福岡大学

• 高橋 学

  福工大

• 吉田 正幸

  吉田半導体研究所

• 師岡 正美

  福工大

• 師岡 正美

  福岡工大工

• 師岡 正美

  福岡工業大学電気工学科

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