24pY-7 シリコン中過飽和置換金原子の外方拡散プロフィル

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 師岡 正美

  福岡工大

• 師岡 正美

  福岡工大工

• 師岡 正美

  福岡工業大学電気工学科

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