28aXT-6 シリコン中のリン拡散におけるplateau,rapid fallおよびtailの形成機構(格子欠陥・ナノ構造)(領域10)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-03-03

著者

• 高橋 学

  福工大

• 田中 秀司

  福岡工業大学電子材料工学科

• 田中 秀司

  福工大・工

• 吉田 正幸

  吉田半導体研究所

• 師岡 正美

  福工大

• 師岡 正美

  福岡工大工

• 師岡 正美

  福岡工業大学電気工学科

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