師岡 正美 | 福工大
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概要
関連著者
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高橋 学
福工大
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吉田 正幸
吉田半導体研究所
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師岡 正美
福工大
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友景 肇
福大工
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友景 肇
福岡大学
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師岡 正美
福岡工大工
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植松 真司
NTT基礎研
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師岡 正美
福岡工業大学電気工学科
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田中 秀司
福岡工業大学電子材料工学科
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田中 秀司
福工大・工
著作論文
- 28aXT-6 シリコン中のリン拡散におけるplateau,rapid fallおよびtailの形成機構(格子欠陥・ナノ構造)(領域10)
- 24pY-6 空孔および格子間原子機構対拡散モデルに基づくSi中のPの実効拡散係数および律速過程
- 29a-ZA-5 Si中のP拡散への酸化および窒化効果の解析
- 25p-T-7 x/√の関数としてのSi中のp拡散密度分布から求められるp実効拡散係数