プラスチック基板上に堆積した酸化亜鉛系透明導電膜のレーザーアニーリングによる特性改善
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概要
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Gallium-doped zinc oxide (GZO) thin films have been deposited on Cyclo-Olefin Polymer (COP) substrates at room temperature by pulsed laser deposition (PLD) using FHG of Nd: YAG laser (λ=266 nm, 1.6 mJ/cm2) and then, thin films were annealed by pulsed laser with FHG of Nd: YAG laser (λ=266 nm, 8~20 mJ/cm2) at room temperature. As a result, the resistivity was improved from 6.61×10−4 Ω·cm to 5.94×10−4 Ω·cm for films annealed at a laser energy density of 12 mJ/cm2.
- 2010-03-20
著者
-
青木 孝憲
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
奥田 昌宏
奥田技術事務所
-
上西 俊道
大阪産業大学工学研究科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
秋月 真
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
青木 孝憲
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
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