COP基板上に成膜した酸化亜鉛系透明導電膜
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概要
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Zinc oxide (ZnO) and Al-doped zinc oxide (AZO) films were in turn deposited on cycloolefin polymer (COP) substrates by means of pulsed laser deposition (PLD) using an ArF excimer laser (λ=193 nm). In the laminated AZO/ZnO structure with ultra-thin layer of AZO (20 nm-thick), resistivity of 1.03×10^<-3> Ω・cm, Hall mobility of 20.1 cm^2/V・s, and carrier density of 2.46×10^<20> cm^<-3> were obtained. Ga-doped zinc oxide (GZO) thin films were deposited on COP substrates at room temperature by means of PLD using FHG of Nd: YAG laser (λ=266 nm, laser energy density 2〜16 mJ/cm^2) at room temperature. As a result, the resistivity was improved from 6.61×10^<-4> Ω・cm to 5.94×10^4 Ω・cm for films annealed at a laser energy density of 12 mJ/cm^2.
著者
-
青木 孝憲
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
一井 直弥
大阪産業大学工学研究科
-
上西 俊道
大阪産業大学工学研究科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
秋月 真
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
青木 孝憲
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
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