ポリマー基板上へ作製したZnOバッファ層によるAl添加ZnO透明導電膜の特性改善
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概要
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A 150 nm-thick aluminum-doped transparent conducting zinc oxide (AZO) films and a 100 nm-thick ZnO buffer layer have been deposited on Cycloolefin Polymer (COP) substrates with laser energy densities of 1.0~2.5 J/cm2 by pulsed laser deposition (PLD) using ArF excimer laser (λ=193 nm). As a result, the lowest resistivity of 2.77×10-4 Ω•cm was obtained at laser energy density of 1.0 J/cm2.
- 日本真空協会の論文
- 2009-03-20
著者
-
上野 優樹
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
青木 孝憲
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
奥田 昌宏
奥田技術事務所
-
一井 直弥
大阪産業大学工学研究科
-
上西 俊道
大阪産業大学工学研究科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学工学部電気電子工学科
-
秋月 真
大阪産業大学工学部電子情報通信工学科
-
松下 辰彦
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
鈴木 晶雄
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
-
青木 孝憲
大阪産業大学 工学部電気電子工学科
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