Highly Reliable Piezoelectric Actuator for Precision Stage System
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2005-05-15
著者
-
久保田 均
産総研
-
Nakada Akira
Kumamoto Univ. Kumamoto Jpn
-
KOSAKA Kouji
Tech-concierge Kumamoto Inc.
-
OHMI Tadahiro
Tohoku University
-
Watanabe Masaya
Department Of Electrical And Electronic Engineering Faculty Of Engineering And Resource Science Akit
-
Ohmi Tadahiro
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
ENDO Taishi
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
EGASHIRA Yoshiya
Kumamoto Technology and Industry Foundation
-
FURUKAWA Hiroyuki
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
HASHIGUCHI Hiroyuki
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
WATANABE Masayuki
Taiheiyo Cement Corporation
-
MIYATA Noboru
Taiheiyo Cement Corporation
-
NAKADA Akira
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
KUBOTA Hiroshi
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
KOSAKA Tetsuya
Kumamoto Technology Incorporated
-
KOSAKA Koji
Graduate School of Science and Technology, Kumamoto University
-
UOZUMI Kiyohiko
Aoyama Gakuin University
-
YAMAKAWA Takahiro
Taiheiyo Cement Corporation
-
HASHIGUTI Hiroyuki
Graduate School of Science and Technology Kumamoto University
-
久保田 均
産業技術総合研
-
Endo Taishi
Kumamoto Univ. Kumamoto Jpn
-
Nakada Akira
Graduate School Of Science And Technology Kumamoto University
-
Endo Taishi
Graduate School Of Science And Technology Kumamoto University
-
Egashira Yoshiya
Kumamoto Technology Inc.:tokyo Technology Inc.:graduate School Of Science And Technology Kumamoto Un
-
Ohmi Tadahiro
Tohoku Univ.
-
Kubota Hiroshi
Graduate School Of Science And Technology Kumamoto University
-
Furukawa Hiroyuki
Graduate School Of Science And Technology Kumamoto University
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