CO-NH_3ガスを用いた磁性薄膜のドライエッチング
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概要
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- 2003-09-01
著者
-
安藤 康夫
東北大学工学研究科応用物理学専攻
-
安藤 康夫
東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
宮崎 照宣
東北大学原子分子材料科学高等研究機構(WPI)
-
安藤 康夫
東北大工
-
上田 幸生
東北大
-
宮崎 照宣
東北大工
-
宮崎 照宣
東北大 原子分子材料科学高等研究機構
-
久保田 均
東北大学大学院工学研究科応用物理学
-
久保田 均
東北大 工
-
安藤 康夫
東北大 工
-
久保田 均
産業技術総合研
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