TMR素子を用いた高感度地磁気センサーの開発(スピンエレクトロニクス)
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概要
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The TMR (Tunneling Magneto-resistive) junctions of SiO_2-sub./bttom-electrode/IrMn/CoFe/Al-oxide/NiFe/top-electrode were fabricated. We have succeeded to observe both high sensitivity and linearity in a low magnetic field for the optimized TMR junctions. The circuit of magnetic sensor using developed TMR junctions exhibited high output signal enough to resolve over 36 directions at terrestrial magnetism. The terrestrial sensor using TMR junctions is very small size and low energy consumption, so will be key "tools" for some solutions, for example, a navigation sensor with Global Positioning System(GPS) in cell phones.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2008-05-01
著者
-
安藤 康夫
東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
大兼 幹彦
東北大学大学院工学研究科応用物理学専攻
-
安藤 康夫
東北大工
-
高 太好
(株)リコー研究開発本部東北研究所
-
高 太好
(株)リコー
-
大兼 幹彦
Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
安藤 康夫
東北大学大学院工学研究科
-
大兼 幹彦
東北大学大学院工学研究科
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