Si酸窒化膜/Si(001)界面研究の最近の展開
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概要
著者
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宮本 良之
NEC基礎・環境研CNT応用研究センター
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五十嵐 信行
日本電気(株)システムデバイス研究所
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五十嵐 信行
日本電気株式会社システムデバイス研究所
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五十嵐 信行
NECシステムデバイス研究所
-
渡部 宏治
日本電気株式会社システムデバイス研究所
-
渡部 宏治
NECシステムデバイス研究所主任研究員
-
宮本 良之
Nec基礎研究所主任
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