SiO_2膜中の水素原子 : 電荷捕獲中心としての振る舞い

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 宮本 良之

  NEC基礎・環境研CNT応用研究センター

• 宮本 良之

  Necナノエレ研

• 横澤 亜由美

  NEC ULSIデバイス開発研究所

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