ダイヤモンドへの内部電極の形成とそれを用いた電子放出素子 : エミッタ電極のセルフアライン加工
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
平尾 孝
高知工科大学 ナノデバイス研究所
-
古田 寛
高知工科大学
-
尾浦 憲治郎
大阪大学大学院
-
西林 良樹
FCTプロジェクト/JFCC
-
安藤 豊
FCTプロジェクト/JFCC
-
小橋 宏司
FCTプロジェクト/JFCC
-
古田 寛
大阪大学工学部
-
李 奎毅
大阪大学工学部
-
平尾 孝
大阪大学工学部
-
尾浦 憲治郎
大阪大学工学部
-
安藤 豊
(財)ファインセラミックスセンター Fct研究本部
-
平尾 孝
高知工科大学総合研究所
-
小橋 宏司
(財)ファインセラミックスセンター Fct研究本部
-
小橋 宏司
(財)ファインセラミックスセンター
-
李 奎毅
大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
尾浦 憲治郎
阪大工
-
西林 良樹
住友電気工業(株)半導体技術研究所
-
Furuta H
Graduate School Of Science Osaka University
-
Furuta Hiroshi
Department Of Earth And Space Science Osaka University
-
古田 寛
大阪大学・理学部
-
尾浦 憲治郎
大阪大学工学研究科
-
李 奎毅
大阪大学工学研究科電子工学専攻
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