XRDを用いたカーボンナノチューブ構造体の結晶構造解析法(LSIを含む電子デバイスの評価・解析・診断,及び信頼性一般)
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概要
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カーボンナノチューブ構造体は、その高い電流密度耐性、熱伝導性などにより、LSIビア配線をはじめとする電気材料として注目されている。一方で、カーボンナノチューブの電気的、熱的、機械的、化学的特性は、その結晶構造に深く依存しているため、カーボンナノチューブを使ったデバイスの特性を向上させるためには、構成するカーボンナノチューブの結晶構造について評価する手法が強く求められている。我々は、カーボンナノチューブ構造体の結晶構造(層数、d_<002>面間隔、配向性、結晶性)と構成する割合を導き出す非破壊評価方法をXRD法により開発した。本解析手法は将来のカーボンナノチューブ構造体応用デバイスの開発の加速に大きく貢献するだろう。
- 2011-05-06
著者
-
古田 寛
高知工科大学
-
Furuta H
Graduate School Of Science Osaka University
-
Furuta Hiroshi
Department Of Earth And Space Science Osaka University
-
Furuta H
Research Institute For Nanodevices Kochi University Of Technology
-
古田 寛
大阪大学・理学部
-
Furuta Hiroshi
Research Institute, Kochi University of Technology, Kami, Kochi 782-8502, Japan
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